當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>掃描電鏡>> CEM3000SEM掃描電鏡
中圖儀器SEM掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭,、并可選配能譜儀,、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對(duì)多類(lèi)型樣品的觀測(cè)需求,,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等,。
核心優(yōu)勢(shì)
1、緊湊靈活,,突破空間限制
(1)臺(tái)式設(shè)計(jì),,體積小巧,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱,、移動(dòng)實(shí)驗(yàn)室),,節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。
(2)支持快速移機(jī),,一臺(tái)設(shè)備滿足多場(chǎng)景需求,,助力科研效率提升。
2,、高性能,,納米級(jí)分辨率
(1)空間分辨率優(yōu)于4nm(SE),支持高達(dá)200,000倍放大,,精準(zhǔn)捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌,。
(2)高襯度成像系統(tǒng),,快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號(hào),滿足材料科學(xué),、生命科學(xué)等領(lǐng)域的需求,。
3、抗振防磁,,穩(wěn)定無(wú)懼挑戰(zhàn)
(1)特殊隔振設(shè)計(jì)(CEM3000B搭載復(fù)合抗振系統(tǒng)),,消除環(huán)境振動(dòng)與電磁干擾,保障高倍成像質(zhì)量,。
(2)適用于工業(yè)車(chē)間,、車(chē)載實(shí)驗(yàn)室等復(fù)雜環(huán)境,穩(wěn)定可靠,。
4,、高效便捷,一鍵智能操作
(1)快速抽放氣技術(shù):低真空模式僅需40秒(CEM3000B),,高真空模式最快1.5分鐘,,大幅縮短等待時(shí)間。
(2)自動(dòng)對(duì)焦、消像散,、圖像增強(qiáng)功能,,一鍵生成高質(zhì)量圖片,降低操作門(mén)檻,。
5,、靈活拓展,滿足多樣需求
(1)可選配低真空系統(tǒng)(5~100Pa),,兼容導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品觀測(cè),。
(2)CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀,,搭配顆粒統(tǒng)計(jì),、孔隙率測(cè)量等定制功能,滿足多領(lǐng)域分析需求,。
中圖儀器SEM掃描電鏡憑借其簡(jiǎn)便的操作系統(tǒng),,讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過(guò)程變得簡(jiǎn)單快捷。樣品一鍵裝入,,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,,大大提升了使用效率。
產(chǎn)品型號(hào)
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉(cāng)型)和CEM3000B(抗振型)兩款強(qiáng)化機(jī)型,,CEM3000A在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下,,拓展了樣品倉(cāng)尺寸,從而可對(duì)大尺寸樣品或多個(gè)常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析,。同時(shí),,用戶也可選擇加裝有減振倉(cāng)的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時(shí)間的同時(shí),,消除環(huán)境振動(dòng)對(duì)電鏡的影響,,保證了高倍數(shù)成像時(shí)的圖像質(zhì)量。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率,,滿足用戶觀測(cè)需求,;
2.快速抽放氣,縮短等待時(shí)間,;
3.高易用性
可快速成像,,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專(zhuān)業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求,;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力,;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,,進(jìn)而對(duì)不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀測(cè),。
7.大樣品倉(cāng)
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí),,具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室,從而容納更大尺寸樣品,;
8.多探測(cè)器
可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像,。
應(yīng)用場(chǎng)景
材料科學(xué):納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末,、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析,。
新能源:太陽(yáng)能電池板缺陷檢測(cè)、涂層性能評(píng)估,。
生物醫(yī)療:微流控芯片表面形貌觀測(cè),、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢:錫球顆粒焊接質(zhì)量,、精密器件表面粗糙度檢測(cè),。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉(cāng)型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸,、自動(dòng)聚焦,、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì),、孔隙率測(cè)量,、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,,Y,,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn),、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉(cāng)內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。